№ п/п	Наименование

Запчасти для Везувия, СДОМ и др. установок.

1	Блок ИВ20М-20 (20 кВ)

2	Блок БП-24

3	Блок БГС-5-400-0

5	МИП 3518163 (МИП 250-1)

6	МИП 3518129 (МИП 5В-20А, МИП 12В-20А, МИП 12В-20А, МИП 125В-20А, МИП 175В-20А)

10	Для СДОМ клапан КПУ-25Л

11	Для СДОМ клапан 4.465.117.06

12	Уст-во согласования ДЕМ 3.856.250 (для СДОМ)

13	Манжеты ДЕМ 7.010ю122

16	МАГНИТОСТРИКЦИОННЫЕ УЛЬТРОЗВУКОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

Запчасти и оптику для установки совмещения и пошагового экспонирования ЭМ-584А и ЭМ-576

1	Решётка дифракционная прозрачная Я2М7.179.868

3	Отражатель Я2М3.172.623 для ЭМ-576А

4	Отражатель Я2М7.172.659 для ЭМ-576 (с вырезанным пазом (подходит для ЭМ-576А))

5	Отражатель Я2М7.171.129 сверический зеркальный круглой формы  для ЭМ-584 (диаметр 200 мм)

6	Отражатель Я2М7.181.882 сверический зеркальный сложной многоугольной формы для ЭМ-584 (220*260мм)

7	Блок отражателей уголковых №1 Я2М3.849.538 для ЭМ-584

8	Блок зеркал Я2М3.849.840 Д12 для блока отражателей уголковых №1 Я2М3.849.538 для ЭМ-584

9	Линза Я2М7.176.577 для ЭМ-576 (диаметр 150 мм)

10	Линза Я2М7.176.576 для ЭМ-576 (диаметр 150 мм)

11	Линза Я2М7.178.470 для ЭМ-576

12	Линза, диаметр 60 мм, высота 17 мм

13	Линза, диаметр 40 мм, высота 9 мм

14	Линза, диаметр 42 мм, высота 9 мм

15	Светофильтр прямоугольный 100х140х5 мм

16	Светофильтр прямоугольный 233, 100х210х8 мм

17	Светофильтр прямоугольный 01320, 240х180х10 мм, ТФ5 свинц. Экв. 2,5 мм при U=180-200 кв.

18	Светофильтр прямоугольный 145х105х15 мм

19	Светофильтр прямоугольный 17х14х2 мм

20	Светофильтр прямоугольный 100х140х5 мм

21	Светофильтр 947.336, диаметр 32 мм, толщина 7 мм

22	Светофильтр 947.679, диаметр 14 мм, толщина 7 мм

23	Светофильтр 189.259, диаметр 10 мм, толщина 1 мм

24	Светофильтр Я2М3.170, диаметр 24 мм, толщина 3 мм для ЭМ-584А

25	Светофильтр Я2М3.170.621, диаметр 24 мм, толщина 2 мм для ЭМ-584А

26	Светофильтр Я2М3.170.537-03, диаметр 34 мм, толщина 2 мм

27	Светофильтр Я2М3.170.537-01, диаметр 34 мм, толщина 2 мм

28	Светофильтр ДЕМ7.171.091, диаметр 10 мм, толщина 7 мм

29	Светофильтр 180.498, диаметр 60 мм, толщина 4 мм для ЭМ-584А

30	Светофильтр Я2М3.170.592, диаметр 60 мм, толщина 3 мм

31	Светофильтр Я2М3.170.592, диаметр 60 мм, толщина 2 мм

32	Светофильтр Я2М3.170.713, диаметр 60 мм, толщина 2 мм для ЭМ-584А

33	Светофильтр 391, диаметр 117 мм, толщина 4 мм

34	Зеркало большое

35	Зеркало Я2М3.172.518

36	Зеркало Я2М3.172.613 для ЭМ-576

37	Зеркало Я2М7.171.204

38	Зеркало Я2М7.171.142

39	Зеркало 947.679

40	Стекло, диаметр 150 мм, высота 15 мм

41	Лимб Я2М7.021.253-01

42	Объектив Бинар-18 F=48, 0,35/0,1

43	Блок растров Я2М8.847.149

44	Фотоприемник Я2М3.849.463 для ЭМ-584А

45	Присоски 451

46	Устройство 2.689.008

Комплектующие для установки "Квант-15", "Квант-60" (установка лазерная УМЛА-600-013)

1	Зеркало поворотное, 45, 1064 нм  em7.235.007-01

2	Зеркало, резонаторное, глухое, сферическое mg7.230.074-01

3	Зеркало резонаторное, глухое  mg7.235.002-01

4	Стекло защитное оператора ф50мм от лазерного излучения  mg8.640.015

5	Объектив, диаметр 32 мм

6	Объектив к установке "Квант" em 3.877.173

7	Линза 1

Источники ионов и комплектующие к ним для Везувия

2	ЗИП к источнику ионов ОТМ 3.152.035 (комплектацию сообщим по запросу)

3	Корпус источника ионов ОТМ 4.106.379-5

4	Корпус источника ионов ОТМ 4.106.383

4(2)	Корпус источника ионов (фланец ОТМ 4.214.102)

7	Электрод ОТМ 3.598.030А (Везувий-5)

8	Электрод ОТМ 3.598.031Г

9	Электрод ОТМ 3.396.031сб В

11	Основание ОТМ 8.073.131

12	Нагреватель к корпусу источника ионов ОТМ 4.106.379-5

13	Тигель Везувий-5-01Б

14	Крышка к тигелю Везувий-5-01Б

15	Камера ОТМ 3.390.046М с 6

17	Цилиндр Везувий-5-01-1

18	Экран ОТМ 8.634.509

20	Нагреватель Везувий-5-5-3

21	Втулка Везувий-5-9

22	Бобышка ОТМ 8.618.376А

23	Втулка Везувий-5-010

24	Пластина ОТМ 8.611.438

25	Прокладка ОТМ 8.683.327 (Везувий-5) диаметр 125 мм

26	Прокладка ОТМ 8.383.328

28	Диафрагма ОТМ 8.006.000 (Везувий-5)

29	Диафрагма ОТМ 8.006.000М

30	Экран ОТМ 8.634.508

31	Экран ОТМ 8.634.849А

33	Собачка Везувий-5-028 (везувий-5)

34	Собачка Везувий-5-029 (везувий-5)

35	Прокладка Везувий-5, диаметр 35 мм

36	Прокладка Везувий-5-20 ОГМ 4.2000, диаметр 30 мм

41	Болт Везувий-5-8, длина 90 мм

44	Стержень ОТМ 7.751.051 (Везувий-5)

45	Стойка Везувий-5-041 (Везувий-5)

46	Камера ОТМ 3.390.045Б

47	Гайка Везувий-5-11

48	Гайка ОГМ 8.930.741

49	Cтержень ОТМ 7.756.055

54	Винт Везувий-5-023 (Везувий-5)

55	Винт Везувий-5-4 (Везувий-5)

56	Испаритель В-10165

Запчасти для СДОМ и прочее

1	Источник питания МИП Я2.М3.151.81.63

2	Блок БУТ ДВМ 3.558.003

3	Блок регулировки ПИ.ТРА 0/1300-003

4	ЗИП для прибора блока регулировки ПИ.ТРА 0/1300-003

5	Натекатель ДЕМ 3.364.018

6	Исполнительный механизм ДЕМ 3.779.006-03

7	Реле давления 4.503.009

8	Реле давления 4.503.009-01

9	Вентиль ДЕМ 4.463.083-03, 16 МПа

10	КЛАПАН В77-14

11	Клапан ДЕМ 3.393.098

12	Клапан электропневматический КЭТ 127-1,6 0446-036 ТУ

12	Клапан электропневматический КЭТ 24-1,6 0446-036 ТУ

13	Мембрана ДЕМ 7.010.122

14	Регулятор давления РД 012-01 ДЕМ 3.471.012-01

15	Дозатор расхода газа ДРГ-6-5-С

16	Регулятор расхода газа РРГ-3-5-Т (гайки и уплотнение в комплект не входят)

18	Регулятор расхода газа РРГ-3-25-Т (гайки и уплотнение в комплект не входят)

19	Регулятор расхода газа РРГ-3-50-Т (гайки и уплотнение в комплект не входят)

20	Термоэлемент (для регуляторов расхода газа, газовые блоки печей СДО)

21	Труба кварцевая для камеры нагревательной (для систем СДОМ)

22	Комплектующие для диффузионных систем СДОМ

24	Автоматическое устройство загрузки в сборе ДЕМ 3.701-074

25	Блок шестерня АДС 6-100-1

26	Блок шестерня АДС 6-100-3

27	Блок шестерня АДС 6-100-4

28	Блок шестерня АДС 6-100-5

29	Блок шестерня АДС 6-100-6

30	Вал шестерня АДС 6-100-2

31	Шестерня АДС 6-100-26

32	Шестерня АДС 6-100-28

33	Шестерня АДС 6-100-27

34	Клапан ДЕМ 3.393.086.02

35	Вибратор для УЗ посадки кристалов (ЭМ483)

36	Натекатель УРМ 3.365.002

37	Блок БПРТ-3

38	Лампа ГМИ-29А-1

39	Лампа кварцевая малогабаритная

40	ДРКc-1500

41	Стакан кварцевый В-9460, ЕТ 0.035.355, "ЭЛВЭКС"

43	Контакторы КМИ-34012

44	Вакуумный конденсатор КП-4 25 кВ 5-100 пф, 0.465.007 ТУ

45	Вакуумный конденсатор КП-4 10 кВ 20-1000 пф, 0.465.007 ТУ

46	Клапан ДЕМ 3.393.086.02

48	Мишень резистивная из порошка ЕТ5240, диаметр 168.5 мм, номер ТУ АУЭ0.023.02 ТУ

49	Модуль питания HL 30A-230S24-CN

50	Пьезоэлектрические пластины 80х20х2 мм, Срез УХе/42градуса45минут, Чистота обработки 0,05, ОСТ 41-01-142-78